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無錫市喜伯年貿易有限公司

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[供應]供應黃光膜/紅光膜/藍光膜
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  • 更新日期:2019-06-20 11:50:02
  • 有效期至:2029-06-17
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供應黃光膜/紅光膜/藍光膜 詳細信息

黃光室是進行IC晶片微影成像術的區(qū)域,將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶園上,而后再放置于曝光機下進行曝光,以使紫外線光源透

 

過光罩照射于光阻而得到感光圖像,最后再以藥劑進行顯影而得到實際圖像。


    早期曝光機的光源為全光譜光源,后演進到G-LINE(436 mm)光源,目前最為廣泛使用的為I-LINE(436mm)光源,對于

 

0.3ūm線寬以下的IC制程,則需采用深紫外線(deep UV)248mm光源,甚至X光或電子束,目前光源較采用高壓水銀(汞)弧燈,由

 

于其特性頻譜,所以須經過濾光片以獲得所需的I-LINE(365mm)光線。 

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